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品牌 | 其他品牌 | 最小檢測分壓 | 5E-14 mbar |
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檢測限 | 5ppb | 質量數范圍 | 510amu |
價格區間 | 100萬-150萬 | 產地類別 | 進口 |
應用領域 | 化工,電子,冶金,航天,電氣 |
20年前,Hiden在期刊《Physics Today》今日物理學雜志發布了HPR-80 腐蝕性氣體分析質譜儀,初期主要應用于半導體行業的特氣檢測,如毒性氣體AsH3、B2H6、PH3等,強腐蝕性氣體如如HCI、HF、CIF3等,強氧化性氣體如CIF3、NF3等。
?20年來,Hiden在這一細分領域具有強大的產品力,針對不同程度的腐蝕氣體分析,提供不同的解決方案。
HPR-80 腐蝕性氣體分析質譜儀非常適用于分析腐蝕性氣體,HF,HCl,HBr和鹵代烴氣體工藝產生的反應產物。?
主要特點:
1、連接件電拋光工藝處理上一產品:LAS泄漏分析系統 在線質譜分析方法
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